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半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人
半導(dǎo)體晶圓機(jī)器人
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2024 - 09 - 03
價(jià)格: AHY系列
高可靠真空隔離,從容應(yīng)對高真空環(huán)境電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng),提升運(yùn)行可靠性高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度采用閉環(huán)伺服控制,實(shí)現(xiàn)高精度位置控制同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作(Swap)
2024 - 09 - 03
價(jià)格: AHY系列
高可靠真空隔離,從容應(yīng)對高真空環(huán)境電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng),提升運(yùn)行可靠性高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度采用閉環(huán)伺服控制,實(shí)現(xiàn)高精度位置控制
2024 - 09 - 03
價(jià)格: VA系列
可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程采用閉環(huán)伺服控制末端執(zhí)行器類型:下托式可選配免電池絕對式編碼器
2024 - 09 - 03
價(jià)格: AHY系列
●高可靠真空隔離,從容應(yīng)對高真空環(huán)境●電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)機(jī)器人運(yùn)動(dòng),提升運(yùn)行可靠性●高強(qiáng)度高剛性鋼帶傳動(dòng),實(shí)現(xiàn)手臂高傳動(dòng)精度●采用閉環(huán)伺服控制,實(shí)現(xiàn)高精度位置控制●同時(shí)實(shí)現(xiàn)雙工位交換晶圓動(dòng)作(Swap)
2024 - 09 - 03
價(jià)格: CA系列
采用閉環(huán)伺服控制可選配免電池絕對式編碼器可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長
2024 - 09 - 03
價(jià)格: SA系列
采用閉環(huán)伺服控制可選配免電池絕對式編碼器可根據(jù)設(shè)備布局定制底座和伸展軸行程末端執(zhí)?器類型:下托式
2024 - 09 - 03
價(jià)格: TBA
采用閉環(huán)伺服控制可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程可選配免電池絕對式編碼器可選mapping傳感器類型:對射式、反射式可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、 翻轉(zhuǎn)吸附式
2024 - 09 - 03
價(jià)格: TA
采用閉環(huán)伺服控制可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程可選配免電池絕對式編碼器可選mapping傳感器類型:對射式、反射式可選末端執(zhí)行器類型:真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式
2024 - 09 - 03
價(jià)格:
采用閉環(huán)伺服控制晶圓固定方式:真空吸附
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