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3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

型號： TA

  • 采用閉環(huán)伺服控制

  • 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程

  • 可選配免電池絕對式編碼器

  • 可選mapping傳感器類型：對射式、反射式

  • 可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式
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  • 可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式

3軸大氣圓柱坐標(biāo)單臂晶圓搬運(yùn)機(jī)器人
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2024 - 09 - 03
價格： TA
采用閉環(huán)伺服控制可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程可選配免電池絕對式編碼器可選mapping傳感器類型：對射式、反射式可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉(zhuǎn)吸附式
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